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感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统-招标公告
信息来源: ******[查看]
|地区:北京
|类型:采购公告
基本信息
信息类型:采购公告
区域:北京
源发布时间:2021-03-08
项目名称:******[查看]
项目编号:******[查看]
招标单位:******[查看]
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感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统-招标公告
(招标编号:0779-******a008)
招标项目所在地区:北京市
一、招标条件
本感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统(招标项目编号:0779-******a008),已由项目审批/核准/备案机关批准,项目资金来源为/,招标人为北京长城计量测试技术研究所。本项目已具备招标条件,现进行公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目规模:/。
招标内容与范围:本招标项目划分为标段1个标段,本次招标为其中的:
001 第1包
三、投标人资格要求
001 第1包:
1 投标人具有独立法人资格,提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
2 本次招标接受代理商投标,代理商必须获得制造商的合法授权,提供授权书。
3 本次招标要求所投产品制造商2018年至今订不少于2台(套)感应耦合等离子体化学气相沉积系统供货合同,提供合同复印件作为证明。
4本次招标不接受联合体投标。
5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格;接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间:2021年03月08日09时00分00秒---2021年03月15日17时00分00秒
获取方法:/
五、投标文件的递交
递交截止时间:2021年03月30日09时30分00秒
递交方法:/
六、开标时间及地点
开标时间:2021年03月30日09时30分00秒
开标地点及方式:/
七、其他公告内容
感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。中科信******有限责任公司(招标代理机构******集团公司北京长城计量测试技术研究所(招标人)的委托,对该项目进行国际公开招标采购。
1.招标范围
1.1货物名称:感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统
1.2招标编号:0779-******a008
1.3设备组成与技术性能:
1.3.1设备组成
设备主要由以下几部分组成:反应腔、下电极、上电极(icp源)、射频源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。
1.3.2技术性能
1.3.2.1反应腔
(1)上、下电极之间的距离可电动调节、以优化工艺;
(2)反应腔采用双层进气,配置单独的sih4进气环。
1.3.2.2下电极
样品尺寸:最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片;不同尺寸样片之间的切换,无需开腔、无需破真空。
1.3.2.3上电极(icp源)
采用平板式天线。等离子体密度可到1e12 cm-3。
1.4数量:1台(套)。
1.5交货期:合同签订后6个月内交货。
1.6项目现******集团公司北京长城计量测试技术研究所。
2.对投标人的资格要求
2.1投标人具有独立法人资格,提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
2.2本次招标接受代理商投标,代理商必须获得制造商的合法授权,提供授权书。
2.3本次招标要求所投产品制造商2018年至今订不少于2台(套)感应耦合等离子体化学气相沉积系统供货合同,提供合同复印件作为证明。
2.4本次招标不接受联合体投标。
2.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格;接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。
3.招标文件获取
3.1凡有意参加投标者,请于2021年03月08日至2021年03月15日17时(北京时间),登陆航空工业电子采购平台电子招投标专区进行注册后购买、下载招标文件,并办理ca数字证书,现场不予受理。
3.2招标文件售价800元,售后不退。支付成功后在航空工业电子采购平台电子招投标专区自行下载招标文件。
3.3投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册,办理ca数字证书与电子签章,否则无法投标。(详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明)。
4.投标文件的递交
4.1投标文件递交的截止时间(投标截止时间,下同)为2021年03月30日09时30分,投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区(******/rest/index)并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。
4.2纸质版投标文件递交地点为北京市海淀区金沟河路与采石北路交叉口东南角88号大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件,招标人将予以拒收。
5发布公告的媒介
本次招标公告同时在航空工业电子采购平台电子招投标专区、中招联合招标采购平台、中国国际招标网和中国招标投标公共服务平台上发布。
银行账号
户名:中科信******有限责任公司
开户行******银行北京西客站支行
帐号(人民币):************0
八、监督部门
本招标项目的监督部门为/。
九、联系方式
招标人:北京长城计量测试技术研究所
地址:北京市海淀区太舟坞
联系人:李昱东、张国强
电话:******
电子邮件:/
招标代理机构:中科信******有限责任公司
地址:北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼六层
联系人:刘女士
电话:010-******
电子邮件:******
招标人或其招标代理机构主要负责人(项目负责人):_______________(签名)
招标人或其招标代理机构:_______________(盖章)
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马蜂快照:2021-03-08
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