成交单位：苏州******有限公司 成交价： 136000.00元 说明：各有关当事人对竞价结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起3天内通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。 注意： 请成交供应商于合同盖章签订当天递交合同扫描件至邮箱******，办理保证金退回手续

采******大学	联系人：采购用户
E-mail：******	联系电话：020-******
传真：无	联系手机：无
邮编：无	平台联系电话（异议）：020-******；******
项目名称： 华电院采购等离子增强管式炉	竞价编号：JJ******000945
采购类型：货物类	开始时间：2023-07-04 12:05:36
项目预算(元)：136,000.00	结束时间：2023-07-07 12:05:00
质保期及售后要求：按出厂厂家售后标准进行服务。
其他要求：无

响应情况

资格及商务响应情况
项目	竞价要求		响应情况
资格条件	原厂或原厂授权。		原厂授权
付款方式	到货验收合格付全款。		预付50%，验收后付清
交付时间	签订合同后30天送货		签订合同后 90 天送货。
交付地址	广东省广州************大学城校区理5栋
质保期及售后要求	按出厂厂家售后标准进行服务。		质保1年。
其他要求：	无		无
报价情况
标的名称	品牌/型号	数量	响应情况	单价（元/%）
等离子增强管式炉	上海微行/PECVD1200-60	1.00	上海微行/PECVD1200-60	136000.000元
总报价	136000.00 元
技术响应
标的名称	技术要求		响应情况
等离子增强管式炉	1、主机技术指标： [1] 石英管尺寸 L≥1500 mm Φ≤60 mm [2] 加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝 [3] 测温元件 N型热电偶 [4] 加热区长度 440≤ mm [5] 恒温区长度 200 ≥mm [6] 工作温度 ≤1100 ℃ [7] 控温模式 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 [8] 控温精度 ≤±1 ℃ [9] 升温速率 ≤20 ℃/min [10] 电功率 ≤3.5 KW 2、附件技术指标： [1] 标准量程 ≥50 sccm（CH4）、≥200 sccm（H2）、≥500 sccm（Ar、N2）； [2] 压力表测量范围 -0.1 Mpa～0.15 Mpa [3] 响应时间特性：≤1～4 Sec [4] 抽气速率 ≥4 L\s [5] 极限真空 ≤6×10-1 Pa [6] 实验真空度 ≤6.0×10-1 Pa [7] 容油量 ≤1.1 L [8] 射频电源≥3 W-300 W [9] 射频输出接口 ≥50 Ω, N-type, female		技术要求：1、主机技术指标： [1] 石英管尺寸 L≥1500 mm Φ≤60 mm [2] 加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝 [3] 测温元件 N型热电偶 [4] 加热区长度 440≤ mm [5] 恒温区长度 200 ≥mm [6] 工作温度 ≤1100 ℃ [7] 控温模式 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 [8] 控温精度 ≤±1 ℃ [9] 升温速率 ≤20 ℃/min [10] 电功率 ≤3.5 KW 2、附件技术指标： [1] 标准量程 ≥50 sccm（CH4）、≥200 sccm（H2）、≥500 sccm（Ar、N2）； [2] 压力表测量范围 -0.1 Mpa～0.15 Mpa [3] 响应时间特性：≤1～4 Sec [4] 抽气速率 ≥4 L\s [5] 极限真空 ≤6×10-1 Pa [6] 实验真空度 ≤6.0×10-1 Pa [7] 容油量 ≤1.1 L [8] 射频电源≥3 W-300 W [9] 射频输出接口 ≥50 Ω, N-type, female
附件	暂无上传相关附件

发布时间: 2023-07-07 14:23:12