是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.1采用微波激励等离子体真空紫外光源
1.2适用于He、Xe、Kr等气体
1.3 紫外光源可在仅用水冷情况下工作
1.4 配置紫外光单色器，用于21.2eV单色化输出
1.5 单色器采用平面光栅和曲面聚焦镜组合；光栅刻线密度达1200线，闪耀波长150.2nm
1.6单色化后的光通量可达6E11 phs/s
1.7 配置300L/s分子泵1台, 80L/s分子泵2台, 机械干泵, 全量程规，VAT-DN40CF手动阀等
1.8配置相应的冷却水机、空压机等

质保期

验收合格后12个月

售后要求

为保证售后服务质量，中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。